X射線熒光光譜儀是一種基于XRF光譜分析技術(shù)的光譜分析儀器，主要由X光管、探測器、CPU以及存儲器組成，由于其便攜具有高效、便攜、準(zhǔn)確等特點(diǎn)，使其在合金、礦石、環(huán)境、消費(fèi)品等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。
儀器要求具有高的分辨率和信噪比、更好的強(qiáng)度準(zhǔn)確性和波長準(zhǔn)確性以及強(qiáng)的抗外界干擾性和優(yōu)良的儀器穩(wěn)定性，在儀器的軟件上，要求能夠進(jìn)行導(dǎo)數(shù)、去卷積等復(fù)雜的數(shù)學(xué)計算，能夠計算光譜間相似度、模式識別分析、支持多元校正分析和用戶自建譜庫并進(jìn)行檢索。
X射線熒光光譜儀應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，涉及:電力、石化、考古、金屬加工、壓力容器、廢舊物資回收、航空航天、地質(zhì)勘探、礦山測繪、開采、礦石分選、礦產(chǎn)貿(mào)易、金屬冶煉、環(huán)境監(jiān)測、土壤監(jiān)測、玩具、服裝、鞋帽、電子產(chǎn)品等眾多領(lǐng)域。
X射線熒光光譜儀物理原理和結(jié)構(gòu)組成：
當(dāng)材料暴露在短波長X光檢查，或伽馬射線，其組成原子可能發(fā)生電離，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢，足以驅(qū)逐內(nèi)層軌道的電子，然而這使原子的電子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，在外軌道的電子會“回補(bǔ)”進(jìn)入低軌道，以填補(bǔ)下來的洞。在“回補(bǔ)”的過程會釋出多余的能源，光子能量是相等兩個軌道的能量差異的。因此，物質(zhì)放射出的輻射，這是原子的能量特性。
1、X射線熒光光譜分析儀由激發(fā)系統(tǒng)、分光系統(tǒng)以及儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成，具有的高靈敏度與寬動態(tài)范圍的特性使其成為了同等級中性能高的微型光譜儀。其超高的性能可以大大提高吸光度、反射率、熒光與拉曼檢測的度。
2、激發(fā)系統(tǒng)，主要部件為X射線管，可以發(fā)出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發(fā)熒光X射線；
3、分光系統(tǒng)，對來自樣品待測元素發(fā)出的特征熒光X射線進(jìn)行分辨（主要為分光晶體）；探測系統(tǒng)，對樣品待測元素的特征熒光X射線進(jìn)行強(qiáng)度探測；
4、儀器控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，處理探測器信號，給出分析結(jié)果。
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