一體式原子力顯微鏡

飛時(shí)曼在標(biāo)準(zhǔn)型一體式原子力顯微鏡FM-Nanoview 6600AFM的基礎(chǔ)上升級(jí)原子力顯微鏡FM-Nanoview 6800AFM，針對(duì)標(biāo)記區(qū)域掃描提供準(zhǔn)確的定位系統(tǒng)，增加磁力模塊，掃描范圍更廣，定位更精確。

一體式原子力顯微鏡主要功能特點(diǎn)

1、光機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，外形結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；

2、掃描探頭和樣品臺(tái)集成一體，抗干擾能力強(qiáng)；

3、精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡(jiǎn)單方便；

4、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

5、馬達(dá)自動(dòng)脈沖控制驅(qū)動(dòng)樣品垂直接近探針，實(shí)現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位；

6、高精度大范圍的樣品移動(dòng)裝置，可自由移動(dòng)感興趣的樣品掃描區(qū)域；

7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；

8、采用10X復(fù)消色差物鏡CCD光學(xué)定位系統(tǒng)，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針樣品掃描區(qū)域；

9、模塊化的電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，便于電路的持續(xù)改進(jìn)與維護(hù)；

10、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統(tǒng)使用。

主要技術(shù)指標(biāo)

1、工作模式：接觸模式、輕敲模式，可選配摩擦力、相位、磁力或靜電力

2、樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm

3、掃描范圍：XY向50um，Z向5um，可選配XY向20um，Z向2um

4、掃描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm

5、樣品移動(dòng)范圍：±10mm

6、馬達(dá)趨近脈沖寬度：10±2ms

7、圖像采樣點(diǎn)：256×256，512×512

8、光學(xué)放大倍數(shù)10X，光學(xué)分辨率1um

9、掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°

10、掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A

11、數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣

12、反饋方式：DSP數(shù)字反饋

13、反饋采樣速率：64.0KHz

14、計(jì)算機(jī)接口：USB2.0

15、運(yùn)行環(huán)境：運(yùn)行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)

友好的軟件界面和操作功能

1. 多通道圖像同步采集顯示，實(shí)時(shí)查看剖面圖；

2. 多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測(cè)量功能；

3. 可進(jìn)行掃描區(qū)域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區(qū)域；

4. 可任意選擇樣品起始掃描角度；

5. 激光光斑檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)調(diào)整功能；

6. 針尖共振峰自動(dòng)和手動(dòng)搜索功能；

7. 可任意定義掃描圖像的色板功能；

8. 支持樣品傾斜線平均、偏置實(shí)時(shí)校正功能；

9. 支持掃描器靈敏度校正和電子學(xué)控制器自動(dòng)校正；