X射線熒光光譜儀是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能t范圍在0.1^-100keV的光子。X射線熒光光譜儀與物質的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質中的組成元素產生的特征輻射，通過側里和分析樣品產生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家組成，得到物質成分的定性和定量信息。
X射線熒光光譜儀的構造：
1、激發光源：可用連續光源或銳線光源。常用的連續光源是氙弧燈，常用的銳線光源是高強度空心陰極燈、無極放電燈、激光等。連續光源穩定，操作簡便，壽命長，能用于多元素同時分析，但檢出限較差。銳線光源輻射強度高，穩定，可得到更好的檢出限。
2、原子化器：X熒光光譜儀對原子化器的要求與原子吸收光譜儀基本相同。
3、光學系統：光學系統的作用是充分利用激發光源的能量和接收有用的熒光信號，減少和除去雜散光。色散系統對分辨能力要求不高，但要求有較大的集光本領，常用的色散元件是光柵。非色散型儀器的濾光器用來分離分析線和鄰近譜線，降低背景。非色散型儀器的優點是照明立體角大，光譜通帶寬，集光本領大，熒光信號強度大，X射線熒光光譜儀結構簡單，操作方便。缺點是散射光的影響大。
4、檢測器：常用的是光電倍增管，在多元素原子熒光分析儀中，也用光導攝象管、析象管做檢測器。檢測器與激發光束成直角配置，以避免激發光源對檢測原子熒光信號的影響。
X射線熒光光譜儀可為各種材料可靠性鑒定（PMI）和廢舊金屬回收應用提供所需性能。X射線熒光光譜儀的優勢如下：
1、準確鑒定各種合金：X射線熒光光譜儀內含有全面的牌號庫，其中包括可選型AISI DIN、JIS、和GB牌號庫，包含總共 1600多種合金。
2、強大的數據管理功能：X射線熒光光譜儀可存儲多達 十萬個檢測結果，包括光譜譜圖和樣品圖像（若配有相機），結果和報告可直接下載到U盤或通過USB傳到電腦，也可利用 WiFi或藍牙實現共享。
4、操作簡單：直觀的大圖標式用戶界面，操作者幾乎不需任何培訓。同時X射線熒光光譜儀還可按客戶要求定制檢驗結果顯示模式，只顯示重要信息，以便于快速進行判斷。
5、堅固耐用：X射線熒光光譜儀符合防護標準，具有防塵和防水性能。
