X射線熒光光譜儀是元素分析的主要儀器之一，在元素分析中具有制樣簡單、無損、快速、不破壞樣品、可以多元素同時分析等優點。X射線熒光光譜儀就是這樣一種分析儀器，目前市場上使用比較多的兩種型號是能量色散型和波長色散型的X射線熒光光譜儀。但這種傳統的儀器有時候靈敏度不夠高，無法滿足微量或痕量應用領域的檢測需求，因此這制約了它的發展。
X射線熒光光譜儀采用兩種分光技術，一是通過分光晶體對不同波長的X-熒光進行衍射而達到分光目的，然后用探測器探測不同波長處X-熒光強度，這項技術稱為波長色散光譜。另一項技術是首先使用探測器接收所有不同能量的X-熒光，通過探測器轉變成電脈沖信號，經前置放大后，用多道脈沖高度分析器進行信號處理，得到不同能量X-熒光的強度分布譜圖，即能量色散光譜，簡稱X-熒光能譜。
X射線熒光光譜儀較常見的故障，一般發生在開機時，偶爾也發生在儀器運行中。故障的產生原因可以從三個方面去分析：1、X射線防護系統;2、內部水循環冷卻系統;3、高壓發生器及X射線光管。
X射線熒光光譜儀
一、X射線防護系統
為了防止X射線泄漏，高壓發生器只有在射線防護系統正常的情況下才能啟動。射線防護系統正常與否，主要檢查以下二部分：
1、面板的位置是否正常。是一個封閉系統，面板是外層的射線防護裝置，如果有一塊面板不到位，儀器就有射線泄漏的可能。因此，每塊面板上都有位置接觸傳感器，面板沒有*合上，高壓開不起來。
2、X射線的警示標志是否正常。國家標準[1]規定，必須安裝紅色警告信號燈并與相應的開關聯動，因此如果信號燈失靈，高壓也開不起來。
有一種簡單的方法可以判斷高壓不能啟動是否是由射線防護系統引起，即將儀器的狀態設定為維修狀態，屏蔽射線防護系統，如果這時高壓可以開起來，就可以確定故障是由射線防護系統的問題引起的。
二、內部水循環冷卻系統
高壓發生器的輸出功率一般為3kW或4kW，將高壓加至X射線光管后，除小部分用于產生X射線外，大部分轉化為熱能，由內部水循環冷卻系統帶走。內循環水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內循環水為電導率很低的去離子水，以防高壓擊穿。內循環水通過儀器內部的去離子樹脂柱降低電導率，去離子樹脂柱中的樹脂會年久失效，因此高壓無法啟動時，可檢查一下內循環水的電導率，如果電導率降不下去，考慮更換樹脂。另外，內循環水的水位過低，也會導致高壓開不起來。
還有一種故障現象是高壓開起來幾分鐘后跳掉，無損檢測資源網產生這種故障的原因可能為內循環水的流量過小。內循環水的流量通過流量計測量，水流過流量計時，帶動流量計內的葉輪，葉輪切割磁力線，產生電信號。葉輪在水中長期轉動，可能會銹蝕，從而使葉輪的轉速減慢，流量計的電信號減弱，使儀器誤認為水流量過小而導致高壓跳掉。另外內循環水的過濾網堵塞導致水流量減小，也會引起高壓跳掉。
三、高壓發生器及X射線光管本身
高壓發生器和X射線光管是儀器內貴重的部件，一般不會出問題。檢查高壓發生器，可將高壓發生器打開，根據電路圖，檢查各個開關是否在正常位置，看一下保險絲有沒有熔斷，再進一步的檢查*由專業維修工程師來做。X射線光管是個封閉的部件，一旦損壞，只能更換，不能修理。檢查X射線光管，可檢查X射線光管與高壓電纜的連接是否正常，高壓電纜有無損壞。
故障現象二
光譜室和樣品室的真空抽不到規定值。
故障分析：
X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時，將可能出問題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對這三部分逐一檢查以縮小范圍。
